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微電子所與是德科技共建110GHz on-wafer片上測試系統

近日,微電子所與是德科技有限公司合作搭建了110GHz on-wafer 片上測試系統。該系統是目前業界芯片測試領域頻率最高的裸片測試平臺,代表了國內科研院所在集成電路設計及加工領域的先進水平。

片上測試需要器件S參數及直流I/V、C/V特性曲線這兩項主要技術參數。在測試中,該系統具有較為突出的優勢:PNA-X可全頻段掃描從10MHz直到110GHz,且具有單次連接、多種參數同時測量的強大功能,極適用于on-wafer測試配合探針臺使用;B1500A半導體器件分析儀是一款具有10插槽配置的模塊化儀器,支持全功能I/V、C/V曲線表征及快速高電壓脈沖和快速脈沖測量;該系統還擁有專用于芯片測試的EDA軟件IC-CAP,此軟件可控制PNA-X、B1500A和探針臺協同工作、自動測量。

隨著微波電路的工作頻率不斷升高,芯片的工作頻率逐漸提升到毫米波波段。微電子所自2008年開始W波段器件的研究,如今已成功采用InP技術設計加工完成多款W波段芯片。

是德科技有限公司是全球電子測量技術和市場的領導者,該公司所生產的電子測量儀器、系統和相關軟件,以及軟件設計工具和服務,可廣泛應用于電子設備的設計、研發、制造、安裝、部署和運營。

 


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